[ Dry Pump Overhaul]
單機組裝校調作業
	泵浦基本性能測試     1.性能測試: 24 hrs              a.真空值   b.溫度                c.電流       d.壓力     2.負載測試: 48 hrs     3.洩漏測試: 1.0×10-8bar  8hrs
負載測試	監控測試軟體
耐久測試區	成品測試